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单晶槽式制绒设备

设备名称 Equipment Name

单晶槽式制绒设备 Mono-crystalline Batch Texturing Equipment

设备型号 Equipment Model

SC-CSZ8000E-16F

设备用途 Equipment Application

主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行绒面腐蚀和清洗处理。
Used for texturing& cleaning of mono crystalline wafers.

工艺流程 Process Flow

去损伤→预清洗→单晶制绒→后清洗或O3清洗→酸洗→预脱水→烘干(供参考)  
Saw damage removal→Pre-cleaning→Mono-texturing→Post-cleaning/O3 cleaning→Acid cleaning→Hot water drying→Drying (for reference only)


技术特点  Features

1、产能:400片/批, 8000片/时。
Throughput: 400pcs/batch, 8000pcs/h.

2、工艺槽循环量可调。
Process bath circulation volume adjustable.

3、制绒金字塔均匀,刻蚀深度可调。
Uniform pyramids texture, etch depth adjustable.

4、支持最薄120μm硅片。
Wafer thickness handling capability up to 120μm.

5、洁净干燥区域,自洁净干燥系统。
With clean dry area and self-clean dry system.

6、不需要加H2O2
H2O2 free.

7、快速换液,在线换液。
Quick inline bath change.

8、支持MES、RFID及选配在线称重功能。
Available with MES, RFID system, inline weight testing optional.


设备参数 Parameters

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